Lehrbuch Mikrosystemtechnik
Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen
Dieses Lehrbuch beginnt mit der Einführung in typische Anwendungen der Mikrosystemtechnik, so dass eine konkrete Vorstellung von Mikrosystemen vermittelt wird. Auf diesen Anwendungen baut das Buch auf, indem durchgängig auf sie zur Erläuterung der Inhalte...
Voraussichtlich lieferbar in 3 Tag(en)
versandkostenfrei
Buch (Gebunden)
Fr. 94.90
inkl. MwSt.
- Kreditkarte, Paypal, Rechnungskauf
- 30 Tage Widerrufsrecht
Produktdetails
Produktinformationen zu „Lehrbuch Mikrosystemtechnik “
Dieses Lehrbuch beginnt mit der Einführung in typische Anwendungen der Mikrosystemtechnik, so dass eine konkrete Vorstellung von Mikrosystemen vermittelt wird. Auf diesen Anwendungen baut das Buch auf, indem durchgängig auf sie zur Erläuterung der Inhalte referenziert wird. So werden neue Themen nicht mit stets verschiedenen knappen Beispielen erläutert, sondern immer an bereits Bekanntem verdeutlicht. Die komplizierten Informationen zu Materialien und Herstellungsprozessen können leichter verstanden und gelernt werden. Der Darstellung von konkreten Anwendungen schliesst sich die Beschreibung von Mikrosystemen in Form ihrer Prinzipien und Grundstrukturen an. Erst zuletzt wird auf dieser Verständnisgrundlage detailliert auf Materialien und Herstellungsprozesse eingegangen. Zusätzlich wird das Buch durch einen speziellen Aufbau der Texte in mehrerer Hinsicht verwendbar. Es wird durch konsequente, aber knappe Erläuterung aller wichtigen Begriffe und einem entsprechenden Stichwortverzeichnis zum Nachschlagewerk für Studium und Praxis. Speziell geschriebene Einführungen und Zusammenfassungen für jedes Kapitel, die unabhängig vom restlichen Inhalt gelesen werden können, ermöglichen einen schnellen Einstieg in die Materie. Das Buch fusst auf den Erkenntnissen einer Kooperation der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht.
Klappentext zu „Lehrbuch Mikrosystemtechnik “
Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschliessend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und grösseren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.
Das Buch geht zunächst auf die mechanischen Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialen in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu beispielsweise die Herstellung von Silizium-Wafern und die Charakterisierung von Silizium erläutert werden. Weiter werden Materialien wie Glas und Quarzglas, Keramiken und piezoelektrische Materialien, Metalle, Schichtwerkstoffe, Polymere und Lote näher charakterisiert.
Anschliessend werden Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt die Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschliessend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert.
Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes grösseren Abschnitts die relevanten Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich im Weiteren auch in der Marginalspalte wieder. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz "Merke", in dem die wichtigsten Informationen noch einmalstichpunktartig zusammengefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium und Praxis.
Das Buch fusst auf den Erkenntnissen einer Kooperation der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht.
Anschliessend werden Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, die Verfahren zur Strukturübertragung, die Prozesse zur Beeinflussung der Substrateigenschaften, Plasmaprozesse, Schichtabscheidungsverfahren sowie Strukturierungsverfahren erläutert. Es folgt die Konfektionierung der Mikrokomponenten, und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen. Abschliessend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert.
Als Orientierungshilfe sind zu Beginn jedes grösseren Abschnitts die relevanten Schlüsselwörter vermerkt. Diese finden sich im Weiteren auch in der Marginalspalte wieder. Am Ende der Abschnitte befindet sich zudem der Absatz "Merke", in dem die wichtigsten Informationen noch einmalstichpunktartig zusammengefasst worden sind. So wird das Buch zum effizienten Nachschlagewerk für Studium und Praxis.
Das Buch fusst auf den Erkenntnissen einer Kooperation der Fachgruppe Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München mit dem FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Gemeinsam wurde erstmalig ein hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik entwickelt, der einen einfachen Einstieg und tief greifendes Lernen ermöglicht.
Inhaltsverzeichnis zu „Lehrbuch Mikrosystemtechnik “
1;Vorwort;62;Inhalt ;8
3;1 Einführung und Anwendungen ;12
4;2 Mechanische Grundelemente ;20
5;3 Fluidische Grundelemente ;50
6;4 Wandler ;76
7;5 Basis-/Substratmaterialien ;174
8;6 Herstellung der Mikrokomponenten ;266
9;7 Konfektionierung der Mikrokomponenten ;482
10;8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsmangenment) ;516
11;9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente ;534
12;Verzeichnis der Schlüsselbegriffe ;570
Autoren-Porträt von Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler
Prof. Dr.-Ing. Norbert Schwesinger ist seit 2000 Professor für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme an der TU München. Zuvor leitete er zehn Jahre lang das Labor für Mikromechanik/Mikrostrukturtechnik an der TU Ilmenau. Carolin Dehne, Pädagogin M.A. arbeitete von 2003 bis 2007 als wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fachgebiet Mikrostrukturierte mechatronische Systeme der TU München. Zurzeit promoviert sie am FB Medienpädagogik der Universität Augsburg. Dipl.-Päd. Frederic Adler ist seit 2004 Doktorand an der Universität Augsburg, FB Medienpädagogik, wo er seit 2007 auch als wissenschaftlicher Mitarbeiter angestellt ist.
Bibliographische Angaben
- Autoren: Norbert Schwesinger , Carolin Dehne , Frederic Adler
- 2008, X, 582 Seiten, mit zahlreichen farbigen Abbildungen, Masse: 17 x 24 cm, Gebunden, Deutsch
- Verlag: OLDENBOURG
- ISBN-10: 3486579290
- ISBN-13: 9783486579291
- Erscheinungsdatum: 15.12.2008
Kommentar zu "Lehrbuch Mikrosystemtechnik"
0 Gebrauchte Artikel zu „Lehrbuch Mikrosystemtechnik“
Zustand | Preis | Porto | Zahlung | Verkäufer | Rating |
---|
Schreiben Sie einen Kommentar zu "Lehrbuch Mikrosystemtechnik".
Kommentar verfassen