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Prozess- und Maschinenentwicklung für das kontinuierliche, variotherme Heissprägen

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Variotherme Anlagenkonzepte sind in der kontinuierlichen, thermischen Nanoimprintlithographie (T-NIL) bisher vor allem im Forschungsumfeld zu finden. Diese Dissertation hat das Ziel, die Übertragung variothermer Verfahrensansätze auf das kontinuierliche...
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Kommentar zu "Prozess- und Maschinenentwicklung für das kontinuierliche, variotherme Heissprägen"
 
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